離子濺鍍槍之GUN-3濺鍍均勻性量測

本實驗室所添購新的離子濺鍍槍GUN-3所量測之薄膜均勻性，藉由SEM所觀察到薄膜厚度，並計算出薄膜均勻度差為-1.76%與+1.54%，顯示出極好得薄膜均勻性。

可點擊相簿觀看 → SEM圖